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发明专利
已授权
一种可调张力的镀膜机
📄 申请号:CN201911184342.2
📄 发布日:2026/07/20
著录项目信息
申请日
2019-11-27
公开号
CN110819951B
公开日
2023-04-11
申请人
安徽顺彤包装材料有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C14_34
IPC 分类号
C23C14_34
,
C23C14_50
,
C23C14_54
,
技术画像
所属领域
镀膜设备
镀膜设备
张力控制
真空镀膜
应用场景
工业自动化, 表面处理, 薄膜材料制备, 光学镀膜, 包装材料
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摘要
本发明公开了一种可调张力的镀膜机,包括装载支架、顶接板、托载台和泵体,所述装载支架顶部中间处水平设置有顶接板,且所述装载支架两端均竖向设置有侧封板,两个侧封板之间水平嵌设有托载台。本发明的有益效果是:通过溅射机构上的电机五带动电子枪调节移动至靶材正上方,保证电子枪能够快速移动至靶材上方进行轰击工作,并且电子枪对靶材照射轰击时,电机七通过旋摆板带动电子枪左右往复翻转工作,一方面,保证靶材被电子枪轰击处理更完全,再配合电机五在挂台上带动电子枪左右调节活动,保证电子枪对靶材轰击面积覆盖更完全,另一方面,极大的提高了靶材表面组分被轰击逸出的效率以及基板被镀膜的效率。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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