发明专利已授权

基于缺陷芯片的覆盖式轨迹检测装置及其检测方法

📄 申请号：CN202411618197.5 📄 发布日：2026/02/03

著录项目信息

申请日

2024-11-13

公开号

CN119147535A

公开日

2024-12-17

申请人

顺德职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_88

IPC 分类号

G01N21_88 , G01N25_72 , G01B15_00 , G01B15_04 , G01N23_2251 ,

技术画像

所属领域

检测方法芯片缺陷检测半导体检测技术扫描轨迹检测检测装置检测方法

应用场景

芯片制造, 半导体缺陷检测, 晶圆检测, 集成电路制造, 工业质量控制

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摘要

本发明公开了基于缺陷芯片的覆盖式轨迹检测装置及其检测方法，涉及芯片检测技术领域，包括：支撑座，以及装配在所述支撑座上并呈对称设置的两组芯片检测装置；每组所述芯片检测装置包括盘式螺旋机构，所述盘式螺旋机构的底部设置有切换模组，所述切换模组上设置有芯片检测头；当所述盘式螺旋机构运行时，带动所述芯片检测头以涡状线轨迹递进运行，使得所述芯片检测头以寻边寻点的范围性检测方式覆盖芯片的轮廓；所述芯片检测头包括转轴，以及周向分布在转轴上的光检测头、热红外检测头以及SEM检测头。本发明通过盘式螺旋机构的运动特性，带动芯片检测头进行检测，检测轨迹采用涡状线轨迹递进运行，覆盖性广，检测效率高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于强化学习算法的油离配合策略优化方法及系统

当前第 / 件

一种晶圆定位切割装置

同领域国内专利 · IPC: (G01N21_88)

G01N21_00 G01N21_01 G01N21_03 G01N21_07 G01N21_15 G01N21_17 G01N21_21 G01N21_23 G01N21_25 G01N21_27 G01N21_29 G01N21_31 G01N21_33 G01N21_35 G01N21_3504 G01N21_3518 G01N21_3554 G01N21_3563 G01N21_3577 G01N21_3581 G01N21_3586 G01N21_359 G01N21_39 G01N21_41 G01N21_45 G01N21_47 G01N21_49 G01N21_53 G01N21_55 G01N21_552 G01N21_57 G01N21_59 G01N21_61 G01N21_63 G01N21_64 G01N21_65 G01N21_67 G01N21_69 G01N21_70 G01N21_71 G01N21_73 G01N21_75 G01N21_76 G01N21_77 G01N21_78 G01N21_79 G01N21_80 G01N21_81 G01N21_82 G01N21_84 G01N21_85 G01N21_86 G01N21_88 G01N21_89 G01N21_892 G01N21_896 G01N21_898 G01N21_90 G01N21_91 G01N21_94 G01N21_95 G01N21_952 G01N21_954 G01N21_956 G01N21_958 覆盖65个领域

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