摘要
本发明公开的一种晶圆定位切割装置,包括底板,所述底板上安装有支撑板一和支撑板二,所述支撑板一的上端安装有防护框,所述支撑板二上安装有限位框,所述底板上安装有驱动组件和连接组件,所述驱动组件的上端和连接组件的上端均活动卡接设于限位框内,所述支撑板二上还安装有拨动组件,所述限位框内活动卡接有夹持固定组件一、夹持固定组件二和夹持固定组件三,所述夹持固定组件一、夹持固定组件二和夹持固定组件三均活动设于防护框内。本发明属于晶圆切割设备技术领域,挤压固定囊鼓起可以对不同尺寸大小的晶圆进行固定,通气腔中的气体从吹气孔中排出,对切割时的晶圆进行吹动,减少灰尘掉落在晶圆上,推动囊的设置便于拿取切割后的晶圆。