发明专利 已授权

一种晶圆定位切割装置

📄 申请号:CN202411666696.1 📄 发布日:2026/02/03

著录项目信息

申请日
2024-11-21
公开号
CN119189074A
公开日
2024-12-27
申请人
江苏丰泓半导体科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体封装, 晶圆划片, 芯片制造, 集成电路制造

摘要

本发明公开的一种晶圆定位切割装置,包括底板,所述底板上安装有支撑板一和支撑板二,所述支撑板一的上端安装有防护框,所述支撑板二上安装有限位框,所述底板上安装有驱动组件和连接组件,所述驱动组件的上端和连接组件的上端均活动卡接设于限位框内,所述支撑板二上还安装有拨动组件,所述限位框内活动卡接有夹持固定组件一、夹持固定组件二和夹持固定组件三,所述夹持固定组件一、夹持固定组件二和夹持固定组件三均活动设于防护框内。本发明属于晶圆切割设备技术领域,挤压固定囊鼓起可以对不同尺寸大小的晶圆进行固定,通气腔中的气体从吹气孔中排出,对切割时的晶圆进行吹动,减少灰尘掉落在晶圆上,推动囊的设置便于拿取切割后的晶圆。

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这项专利是否已经下证?

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B28D5_00)

B28D5_00 B28D5_02 B28D5_04 覆盖3个领域
议价
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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:219 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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