发明专利已授权

一种高Al含量的c-TiAlSiN硬质涂层及其制备方法

📄 申请号：CN201910584177.3 📄 发布日：2026/04/30

著录项目信息

申请日

2019-06-28

公开号

CN110257789A

公开日

2019-09-20

申请人

广州大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_06 ,

技术画像

所属领域

硬质涂层硬质涂层表面工程物理气相沉积

应用场景

切削刀具, 模具表面处理, 耐磨涂层

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摘要

本发明提供一种高铝含量的c-TiAlSiN硬质涂层及其制备方法。本发明高铝含量的c-TiAlSiN硬质涂层为单相立方结构，无纤锌矿型AlN析出，能通过使用直流磁控溅射Ti靶材，使用高功率脉冲磁控溅射AlSi靶材，共溅射沉积制得，其中AlSi靶材中Si含量为0＜Si含量≤40at.％，制得的涂层中(Al+Si)/(Al+Ti+Si)的原子数比值可高达0.64；或者通过使用直流磁控溅射TiSi靶材，使用高功率脉冲磁控溅射Al靶材，共溅射沉积制得，其中TiSi靶材中Si含量为0＜Si含量≤40at.％，制得的涂层中(Al+Si)/(Al+Ti+Si)的原子数比值可高达0.67，这两种制备方法都能解决当前TiAlSiN纳米复合涂层中软质纤锌矿型AlN易析出的难点问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种妇产科疾病医疗诊治装置

当前第 / 件

一种TiBx/Cr

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