发明专利已授权

一种Hf/TiBx防腐蚀多层涂层的制备方法

📄 申请号：CN201910108864.8 📄 发布日：2026/04/30

著录项目信息

申请日

2019-02-03

公开号

CN109666912A

公开日

2019-04-23

申请人

广州大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_16 , C23C14_06 , C23C14_02 ,

技术画像

所属领域

涂层技术涂层技术表面工程防腐蚀材料

应用场景

航空航天, 海洋工程, 化工设备, 核电工业, 高端装备制造

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摘要

本发明提供一种采用物理气相沉积方法在镁合金表面沉积膜-基结合力强、导电性好、耐腐蚀Hf/TiBx(x＝2.2～2.5)耐蚀多层涂层的制备方法。(1)首先在镁合金表面先使用高功率脉冲磁控溅射沉积Hf过渡层，靶材峰值电流密度为0.8～1.2A/cm2，以缓解基体与涂层热膨胀系数失配问题并增强膜-基结合强度；(2)再使用直流磁控溅射沉积TiBx插入层，靶材功率密度为5～10W/cm2；(3)在0.1～0.6Pa纯Ar气氛中交替沉积Hf及TiBx插入层，得到Hf/TiBx多层涂层。通过上述方法可于镁合金表面制备出膜-基结合力强、导电性好、并具有优异防腐蚀性能的Hf/TiBx多层涂层。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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