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发明专利
已授权
一种金属双极板表面纳米涂层的制备方法
📄 申请号:CN202310294309.5
📄 发布日:2026/07/31
著录项目信息
申请日
2023-03-24
公开号
CN116005117B
公开日
2023-06-16
申请人
江苏新超科氢动力系统有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C14_34
IPC 分类号
C23C14_34
,
C23C14_50
,
C23C14_54
,
B82Y40_00
,
技术画像
所属领域
纳米涂层
燃料电池
表面涂层技术
纳米材料
纳米涂层
应用场景
燃料电池, 新能源汽车, 储能系统, 分布式发电, 便携式电源
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摘要
本发明涉及燃料电池技术领域,尤其涉及一种金属双极板表面纳米涂层的制备方法,包括,步骤S1,清洗并固定基板、钛靶和石墨靶,在真空泵排气后,启动加热装置对涂层室进行调温;步骤S2,将所述旋转架接入负偏压并启动旋转电机,通过氩气口通入氩气,启动射频装置,进行溅射镀膜;步骤S3,通过实时图像与实时反射率调整旋转架的旋转速度,通过设置的中控模块判定是否完成镀膜;步骤S4,关闭射频装置并通过真空泵排气,再通过氮气口通入氮气,启动射频装置,进行溅射镀膜;步骤S5,通过中控模块重复所述步骤S3的判定操作,完成金属双极板基板表面纳米涂层的制备。本发明通过对双极板溅射镀膜过程进行控制,有效提高涂层均匀性。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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