实用新型已授权

一种具有密封结构的磁控溅射镀膜机

📄 申请号：CN202223239151.1 📄 发布日：2026/08/07

著录项目信息

申请日

2022-12-04

公开号

CN218596494U

公开日

2023-03-10

申请人

南昌瀚宸新材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_56 ,

技术画像

所属领域

密封结构溅射镀膜密封结构

应用场景

表面处理, 薄膜制备, 光学镀膜, 半导体制造, 工具镀膜

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型公开了一种具有密封结构的磁控溅射镀膜机，包括底座，所述底座顶部的中心处安装有第一洁净室，所述第一洁净室的内部安装有磁控溅射镀膜机本体；所述第一洁净室的两侧均开设有进料口和排料口；所述进料口和排料口远离第一洁净室的一侧均安装有第二洁净室；所述第二洁净室的顶部安装有净化组件，所述净化组件的一端与第二洁净室顶部的一侧连通；本实用新型通过设置进料口和排料口，形成两组功能不同的通道，能够减少单一通道的拥堵性，减少单一通道与外界连通和接触的时间，可以最大限度的保持第一洁净室内的洁净度，提高该密封结构的密封效果，同时，这样还使得镀膜工作条理有序，提高了镀膜工作的流畅性和效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种涂覆装置

当前第 / 件

一种新型高效多功能中药煎药机

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

C23C14_00 C23C14_02 C23C14_04 C23C14_06 C23C14_08 C23C14_14 C23C14_16 C23C14_18 C23C14_20 C23C14_22 C23C14_24 C23C14_26 C23C14_28 C23C14_30 C23C14_32 C23C14_34 C23C14_35 C23C14_46 C23C14_48 C23C14_50 C23C14_52 C23C14_54 C23C14_56 C23C14_58 覆盖24个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：11 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种具有密封结构的磁控溅射镀膜机

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

户外电表箱盖密封圈结构（电力电表电能表电表壳电表箱密封）

全自动密封圈组装检测机

一种密封圈气密性检测设备

服务项目

资源中心

关于柿子坊

一种具有密封结构的磁控溅射镀膜机

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

户外电表箱盖密封圈结构（电力 电表 电能表 电表壳 电表箱 密封）

全自动密封圈组装检测机

一种密封圈气密性检测设备

服务项目

资源中心

关于柿子坊

户外电表箱盖密封圈结构（电力电表电能表电表壳电表箱密封）