发明专利已授权

一种氮化硼刻蚀的方法

Name: 一种氮化硼刻蚀的方法
Brand: 陕西方驰振科技有限公司
SKU: 2017100436531
Availability: InStock

📄 申请号：CN201710043653.1 📄 发布日：2025/11/16

著录项目信息

申请日

2017-01-19

公开号

CN106835074B

公开日

2018-12-25

申请人

陕西方驰振科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_455

IPC 分类号

C23C16_455 , C23C16_34 , C23C16_56 ,

技术画像

所属领域

半导体制造工艺半导体制造工艺等离子体刻蚀二维材料加工

应用场景

半导体器件制造, 集成电路, 二维材料器件, 微纳加工, 电子器件

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种氮化硼刻蚀的方法；本发明采用压印法以表面有图案的聚二甲基硅氧烷(PDMS)模板为印章，将氧化石墨烯溶液转印到氮化硼薄膜表面，然后在硫化钼蒸气中在一定温度下保温一定时间，在氮化硼表面刻蚀出图案，完成PDMS表面的图案向氮化硼表面的转移。本发明通过二硫化钼蒸气催化分解氮化硼，降低了氮化硼光刻条件，方法简单、方便和可操作性强。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN106835074B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250930

?? 专利权的转移：

20210126

?? 专利权的转移：

20200904

?? 专利权的转移：

20181225

✅ 授权

20170707

?? 实质审查的生效：

20170613

📄 公开

一种强度可调的用于智能网络控制的路由器

当前第 / 件

一种双调式直滑电位器

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_455)

C23C16_00 C23C16_01 C23C16_02 C23C16_08 C23C16_18 C23C16_26 C23C16_27 C23C16_30 C23C16_34 C23C16_40 C23C16_44 C23C16_455 C23C16_458 C23C16_46 C23C16_50 C23C16_505 C23C16_513 C23C16_517 C23C16_54 C23C16_56 覆盖20个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：177 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种氮化硼刻蚀的方法

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

常见问题

这项专利是否已经下证？

购买这项专利需要经过哪些流程？

该专利的转让价格是多少？

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_455)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种复合结构的纳米压印膜

一种柔性三维电极的制备方法

出租车交通数据同构网络可视化方法、系统及其存储介质

服务项目

资源中心

关于柿子坊