发明专利 已授权

一种石英坩埚表面处理的智能化涂层优化方法

📄 申请号:CN202411975832.5 📄 发布日:2026/07/07

著录项目信息

申请日
2024-12-31
公开号
CN119989874B
公开日
2025-11-04
申请人
乐山京隆石英玻璃制品有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

光伏硅片制造, 半导体晶圆制造, 石英坩埚生产, 工业窑炉设备

摘要

本申请属于坩埚涂层优化技术领域,涉及一种石英坩埚表面处理的智能化涂层优化方法;本发明通过采集涂层材料数据、表面处理环境数据、涂层工艺数据以及性能测试数据,并将性能测试数据作为训练集的真实结果标签,对采集的数据进行去噪、缺失值处理和归一化,通过皮尔逊相关系数以及主成分分析法,筛选出一组关键性特征,减少了数据维度,同时保留了影响涂层性能的主要信息,使得深度神经网络模型得以训练,并通过模型预测涂层性能,基于预测的涂层性能,采用粒子群优化算法对涂层工艺参数进行优化,能够有效地搜索最优参数组合,避免了传统优化方法的盲目性和高成本,形成了一个闭环的智能化涂层优化流程,显著提高了涂层工艺的优化效率和性能。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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