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发明专利
已授权
一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法
📄 申请号:CN201710176713.7
📄 发布日:2025/10/15
著录项目信息
申请日
2017-03-23
公开号
CN106939405A
公开日
2017-07-11
申请人
南京信息工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C14_08
IPC 分类号
C23C14_08
,
C23C14_34
,
C23C8_02
,
C23C8_20
,
技术画像
所属领域
复合材料
复合材料
光学薄膜
石墨烯材料
应用场景
光学器件, 显示技术, 光通信, 传感器, 光学涂层
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摘要
本发明公开了一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法。是一种在石英片上利用双层辉光等离子物理溅射沉积技术通过两步法实现石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备。具体是将石英片丙酮清洗,高压氮气烘干处理;高纯低熔点和高熔点金属靶作为氧化物的金属元素溅射源,用丙酮进行清洗,同时通入一定比例的氩气和氧气作为金属氧化物的合成气氛条件;将预处理好的基片和靶材样品放入双层辉光等离子溅射腔室内,采用两步法工艺实现氧化物薄膜的制备。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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当前第 / 件
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