专利名称:外延管套件装配设备
申请号:2023214242481
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 自动化装配技术
相似专利
发布日:2025/10/31
应用场景:半导体外延生长工艺中的管材自动化组装;提高外延管套件装配效率与精度;降低人工操作导致的误差
专利名称:一种扩散炉管
申请号:2022223641927
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 材料加工
相似专利
发布日:2025/10/31
应用场景:用于集成电路制造中的晶圆扩散工艺;提升高温环境下的均匀性与稳定性
专利名称:一种半导体用铜线冷轧退火装置
申请号:2024229760079
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 金属加工技术
相似专利
发布日:2025/10/31
应用场景:半导体铜线生产中的冷轧与退火工艺优化;提升铜线性能以适应半导体封装或连接需求
专利名称:一种半导体废气处理设备新型涂层波纹管
申请号:202420599051X
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 废气处理技术 环保材料
相似专利
发布日:2025/10/24
应用场景:半导体制造过程中的腐蚀性废气排放处理;工业废气净化系统;高温酸碱环境管道输送
专利名称:一种可以限位生产的硅片加工用切割机
申请号:2022221160585
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 机械加工
相似专利
发布日:2025/10/23
应用场景:硅片生产加工中精确控制切割深度,避免过度切割导致硅片损耗;提高硅片切割效率与良品率
专利名称:一种设有防护机构的硅片切割用送料定位装置
申请号:2022221160570
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 机械自动化
相似专利
发布日:2025/10/23
应用场景:硅片切割加工中防止物料偏移或损伤;提升晶圆加工精度与安全性
专利名称:一种可翻转的硅片用抛光装置
申请号:202222031073X
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 精密机械加工
相似专利
发布日:2025/10/23
应用场景:硅片双面抛光工艺优化;半导体晶圆制造中的表面处理环节
专利名称:一种晶圆缺陷测试仪的光源调节装置
申请号:2022222452896
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 光学检测技术
相似专利
发布日:2025/10/20
应用场景:晶圆表面缺陷检测;半导体制造工艺中的质量控制;自动化光学检测系统
专利名称:一种芯片加工设备用芯片固定装置
申请号:2024211690809
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 芯片加工技术
相似专利
发布日:2025/10/15
应用场景:芯片制造过程中的固定与定位;提高芯片加工精度与效率;防止芯片在加工过程中移位或损坏
专利名称:一种晶圆覆膜机
申请号:202221955512X
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 自动化机械
相似专利
发布日:2025/10/20
应用场景:半导体晶圆生产过程中的薄膜覆盖工艺;提高晶圆表面保护效率及精度
专利名称:一种晶圆自动覆膜装置
申请号:2022218832017
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 自动化控制技术
相似专利
发布日:2025/10/20
应用场景:晶圆生产过程中的自动化覆膜工序;提高覆膜效率与一致性;减少人工干预导致的污染或误差
专利名称:一种石英舟翻转机构
申请号:2024211902380
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 自动化机械装置
相似专利
发布日:2025/10/13
应用场景:用于光伏或半导体生产过程中的石英舟自动翻转操作,解决传统人工翻转效率低、易污染的问题;适用于高温工艺后的石英舟快速冷却及定向转移场景。
专利名称:一种点接触半导体石英舟加工装置
申请号:2023230100802
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 机械加工技术
相似专利
发布日:2025/10/13
应用场景:半导体晶体生长过程中的石英舟加工;高精度点接触式加工场景
专利名称:立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置
申请号:2023225502355
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 石英材料加工
相似专利
发布日:2025/10/13
应用场景:半导体芯片制造中的氧化工艺;提升石英舟使用寿命和生产效率
专利名称:一种匀流型石英舟托
申请号:2023224658578
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 光伏材料加工
相似专利
发布日:2025/10/13
应用场景:用于多晶硅或单晶硅生产过程中的石英舟固定与气流均匀分布控制;提升晶体生长均匀性,减少工艺缺陷
专利名称:一种密齿立式石英舟
申请号:2023223944360
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 石英制品加工
相似专利
发布日:2025/10/13
应用场景:光伏或半导体生产中的晶体生长工艺;高温化学气相沉积场景
专利名称:一种多层级立式石英舟
申请号:2023223139738
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 光伏材料加工
相似专利
发布日:2025/10/13
应用场景:用于高温下晶体生长工艺中的硅料承载与传输;解决传统石英舟易变形、载量低及热场均匀性差的问题
专利名称:一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置
申请号:2020216975290
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 自动化控制技术 RFID技术应用
相似专利
发布日:2025/10/10
应用场景:晶圆生产流程追踪与管理;半导体制造自动化;芯片加工过程监控
专利名称:一种便于夹取的晶圆传送机械臂
申请号:202311556548X
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法律状态:已下证
类型:发明
关键词:半导体制造设备 机械自动化
相似专利
发布日:2025/09/26
应用场景:晶圆生产过程中的传送与夹取;提高半导体制造效率;防止晶圆损伤
专利名称:一种芯片定位装置
申请号:2020205391869
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 芯片封装技术
相似专利
发布日:2025/09/25
应用场景:芯片封装过程中的精准定位;提高芯片贴装效率与精度;解决传统定位装置易磨损导致的误差问题