专利名称：热板结构      申请号：2018102898417     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：半导体制造设备 加热热度均匀性热板 光刻工艺 微电子机械系统   相似专利 发布日：2024/09/09  
摘要： 本发明提供一种热板结构，包括：热腔体，热腔体由底板、侧板以及加热顶板围成，热腔体内填充有液体传热介质；加热装置，用于对液体传热介质进行加热，藉由液体传热介质对加热顶板进行传热，以提高加热顶板的受热均匀性；以及顶板温度探测器，设置于加热顶板中，用以监测加热顶板的温度并反馈至控制器，控制器基于温度控制加热装置的发热功率。本发明通过在热板中间设计一个热腔体，热腔体充满液体传热介质，在该热腔体中设置加热线圈与温度控制器，通过线圈对液体传热介质加热后间接传热至加热顶板，可以使加热顶板的温度更加均匀，提高控制精度，使晶圆上的图形线宽更加均匀，提高工艺良率。

专利名称：一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置      申请号：2020105515705     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：半导体制造设备 硅晶圆制造检测 微电子 晶圆 硅晶片 积体电路 光敏材料 晶圆光阻溶解观测   相似专利 发布日：2025/03/14  
摘要： 本发明属于晶圆领域，尤其是一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，针对目前市场上的硅晶圆光阻溶解过程观测装置使用不够方便，不便于进行溶解操作，现提出如下方案：一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，包括底座与溶解桶，所述底座的下端外表面固定安装有支架，所述支架的下端活动安装有滚轮，所述底座的上端固定安装有固定座，所述溶解桶放置在固定座的上端，所述底座的上端位于固定座的一侧的位置固定安装有安装座，所述安装座的上端活动连接有立柱。本发明中，通过滚轮上的减震结构是装置移动更加稳定，通过可转动的立柱能够方便观测装置的使用，并且通过可升降的夹具能够方便对晶圆进行光阻溶解操作。

专利名称：一种半导体制造设备的故障报警装置      申请号：2022217537803     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：实用新型   关键词：半导体 制造设备 半导体制造设备   相似专利 发布日：2022/11/14  
摘要： 本实用新型属于半导体制造设备技术领域，具体涉及一种半导体制造设备的故障报警装置，包括半导体制造设备与报警装置，所述报警装置安装在半导体制造设备一侧，且所述报警装置与半导体制造设备电连接；其中，所述报警装置底侧设有透明保护壳，所述透明保护壳底部贯穿插接有连接杆，所述连接杆底部还套设有滑套，所述滑套底部插接有连接座，所述连接座顶部与连接杆底部位于滑套内部接触连接。本实用新型，能够实现对故障报警的提示，且在操作与维修人员到场后，通过关闭声音报警，减少声音对人员与环境的污染，减少对操作及维修人员检修的影响。