专利名称:一种一体黑光阻研磨细度监控系统
申请号:202122330324X
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 精密加工检测技术 光学测量系统
相似专利
发布日:2025/09/17
应用场景:集成电路晶圆生产线的光刻工艺质量控制;面板显示器件制造中的光阻层均匀性监测;微电子封装环节的精细化研磨参数优化
专利名称:一种集成电路保护用油墨加工灌装设备
申请号:2022201338782
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 电子封装技术 精密涂布工艺
相似专利
发布日:2025/09/17
应用场景:集成电路芯片表面防护层印制;晶圆级封装中的阻焊剂涂覆;微电子元件自动化生产线上的油墨填充与固化处理
专利名称:节能高效的PECVD反应炉管装置
申请号:2022104429129
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法律状态:已下证
类型:发明
关键词:半导体制造设备 薄膜沉积技术 等离子体增强化学气相沉积 新能源材料制备
相似专利
发布日:2025/09/17
应用场景:集成电路制造中的介质层沉积;太阳能电池板的减反膜与钝化层制备;LED外延片的表面处理;先进封装中的介电层成型
专利名称:一种LENS基板涂蜡装置
申请号:2020216577490
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 精密涂覆技术 表面处理工艺
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发布日:2025/09/17
应用场景:金属基板防氧化保护;3D打印成型辅助;电子元件封装前预处理
专利名称:一种磁控溅射设备的抽气装置
申请号:2020220455049
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 真空镀膜技术 表面处理工艺
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发布日:2025/09/17
应用场景:集成电路薄膜沉积;光学涂层制备;功能材料溅射成型;科研实验中的高精度真空环境控制
专利名称:一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台
申请号:2020220454900
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 真空镀膜技术 精密机械传动
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发布日:2025/09/17
应用场景:集成电路晶圆表面金属化处理;光学薄膜沉积工艺;显示屏导电层制备;功能涂层均匀性控制
专利名称:一种磁控溅射设备的换样片装置
申请号:2020220427157
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 真空镀膜技术 表面处理工艺
相似专利
发布日:2025/09/17
应用场景:集成电路生产中的薄膜沉积环节;光学元件镀膜加工;功能材料涂层制备;科研实验中的样品更换操作
专利名称:一种用于真空蒸发设备的散热装置
申请号:2020220426775
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 真空镀膜技术 热管理工程
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发布日:2025/09/17
应用场景:半导体晶圆制备中的金属蒸镀工艺散热控制;光学薄膜沉积设备的温控保障;真空环境下高功率蒸发源的热防护
专利名称:一种芯片表面快速清洁装置
申请号:2024227631764
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法律状态:授权未缴费
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 精密清洗技术 电子元件加工
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发布日:2025/09/17
应用场景:集成电路生产线上的晶圆级芯片除尘去污;光学显微镜观测前的样本预处理;纳米级工艺中的微粒管控;实验室环境下的微电子器件维护
专利名称:一种晶圆加工用自动研磨装置
申请号:2024229263447
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法律状态:授权未缴费
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 精密机械加工 自动化控制技术
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发布日:2025/09/16
应用场景:集成电路生产线上的晶圆表面平整化处理;半导体材料高精度减薄工艺;大规模量产中的无人化研磨作业
专利名称:一种IC封装芯片检测机
申请号:2022227103656
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 自动化检测技术 电子元件质量控制
相似专利
发布日:2025/09/15
应用场景:集成电路封装生产线上的芯片缺陷自动光学检测;高密度引脚间距的精密测量与定位校准;工业级批量化生产中的良品率提升
专利名称:一种IC芯片整形机
申请号:2022229082781
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 集成电路封装技术 精密机械加工
相似专利
发布日:2025/09/15
应用场景:IC芯片引脚矫形修正;半导体器件自动化产线集成;电子元件尺寸标准化处理
专利名称:一种高平衡防护的高端智能芯片的防护台及其防护方法
申请号:2020113463346
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法律状态:已下证
类型:发明
关键词:半导体制造设备 集成电路封装技术 精密机械设计 电磁兼容工程
相似专利
发布日:2025/09/15
应用场景:高端智能手机SoC测试环境搭建;自动驾驶芯片可靠性验证平台;数据中心服务器CPU/GPU运输保护;航空航天电子设备抗冲击测试系统
专利名称:一种集成电路用点胶平台
申请号:2020222794470
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 精密电子组装技术 自动化控制系统集成
相似专利
发布日:2025/09/17
应用场景:芯片封装过程中的焊球精准定位与固定;微电子元件表面涂层均匀施胶;高密度互联基板通孔填充工艺优化
专利名称:一种基于芯片制造用的开孔装置
申请号:2020222872728
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 精密加工技术 微纳加工工艺
相似专利
发布日:2025/09/15
应用场景:集成电路封装过程中的晶圆级微孔加工;芯片内部通孔互联结构形成;先进封装中的TSV(硅通孔)工艺实现
专利名称:一种硅片生产用切片装置
申请号:2023235097079
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 硅片加工技术 精密切割装置
相似专利
发布日:2025/09/11
应用场景:集成电路晶圆生产;光伏太阳能硅片制备;半导体材料减薄加工;高精度半导体器件制造;大规模量产型硅基材料分切
专利名称:一种硅片生产用金刚线切片机主轴拆装结构
申请号:2022215301088
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 精密机械加工 光伏产业
相似专利
发布日:2025/09/11
应用场景:光伏硅片切割设备的维护检修;半导体晶圆加工设备的部件更换;多品类硅基材料生产的产线适配;降低设备停机时间的工业场景;提高生产设备可维护性的技术方案
专利名称:一种大尺寸硅片插片机分片装置
申请号:2022220761876
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 自动化分片技术 精密机械控制
相似专利
发布日:2025/09/11
应用场景:集成电路生产线中的晶圆切割工序;光伏产业硅材料加工;半导体封装前的基板分选;高洁净度车间自动化物料处理
专利名称:一种用于单晶硅片的脱胶机
申请号:2022223407826
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 单晶硅加工技术 精密清洗装置
相似专利
发布日:2025/09/11
应用场景:光伏产业硅片生产中的背胶清除工序;半导体晶圆制造前道工艺处理;电子级硅材料表面净化环节
专利名称:一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置
申请号:2021232668731
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体制造设备 自动化清洗技术 精密机械设计
相似专利
发布日:2025/09/11
应用场景:集成电路生产线硅片批量清洗工序;光伏产业晶圆表面处理工艺;半导体代工工厂自动化产线集成