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| 专利/申请号： | CN202121364148.5 | 专利名称： | 一种磁控溅射箱体的冷却装置 |
| 申请日： | 2021-06-19 | 申请/专利权人 | 杭州云度新材料科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 浙江省杭州市富阳区富春街道文居街1859号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/35 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-11-23 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN214830639U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 16 | 所属领域： | 半导体制造设备 真空镀膜技术 工业制冷系统专利转让搜索 |
应用场景：磁控溅射镀膜工艺中的腔体温控管理;高真空环境下的设备散热优化;薄膜沉积过程中的温度稳定性控制
摘 要：本实用新型公开了一种磁控溅射箱体的冷却装置，包括箱体，其特征在于：所述箱体上设置有冷却组件，所述冷却组件包括电机支架，安装在电机支架上的电机，与电机连接的转动轴，固定安装在转动轴一端的扇叶，所述箱体上还安装有提升组件，所述电机支架固定安装在提升组件上；本实用新型通过电机带动转动轴转动，从而带动扇叶转动进行冷却，同时通过提升组件能够带动电机和转动轴上下移动，从而能够带动转动轴和扇叶进行上下移动，从而使扇叶能够对箱体顶部和底部都进行扇动冷却，达到增加设备冷却效果的目的。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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