发明专利已授权

一种准分子放电光源的设计方法及系统

📄 申请号：CN202311602169.X 📄 发布日：2026/05/25

著录项目信息

申请日

2023-11-27

公开号

CN117688803B

公开日

2024-07-26

申请人

普诺明医学科技(广东)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G06F30_23

IPC 分类号

G06F30_23 , G06T17_20 , G06F30_17 , G06F119_08 , G06F111_08 , G06F111_10 , G06F119_02 ,

技术画像

所属领域

准分子光源准分子光源气体放电光源光源系统设计

应用场景

半导体光刻, 平板显示制造, 紫外固化, 杀菌消毒, 水处理

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摘要

本发明属于准分子放电光源辅助设计技术领域，提出了一种准分子放电光源的设计方法及系统,包括：获取准分子灯的三维模型；将三维模型导入热应力分析软件，以三维模型作为待分析模型；对待分析模型划分热应力网格获取灯具内部的散热鳍片区域热应力分布图；将热应力分布图灰度化，依次计算散热鳍片区域的热变性适度值；依次遍历各个散热鳍片区域，得到待分析模型的最大热变性适度值；将待分析模型中的各个热变性适度值小于最大热变性适度值的散热鳍片的区域的厚度进行调整，使所有散热鳍片的区域的热变性适度值大于等于最大热变性适度值。根据本发明实施例的设计方法，可以降低温漂，提升准分子灯的光电转换效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种LNG船利用干隔舱储存捕集的CO2的系统

当前第 / 件

一种基于云计算的运维数据智能化管理系统及方法

同领域国内专利 · IPC: (G06F30_23)

G06F30_00 G06F30_10 G06F30_12 G06F30_13 G06F30_15 G06F30_17 G06F30_18 G06F30_20 G06F30_22 G06F30_23 G06F30_25 G06F30_27 G06F30_28 G06F30_30 G06F30_31 G06F30_32 G06F30_323 G06F30_327 G06F30_33 G06F30_3308 G06F30_331 G06F30_3315 G06F30_3323 G06F30_337 G06F30_34 G06F30_36 G06F30_367 G06F30_373 G06F30_39 G06F30_392 G06F30_394 G06F30_396 G06F30_398 覆盖33个领域

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