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| 专利/申请号： | CN202022042671.8 | 专利名称： | 一种真空蒸发镀膜用余热利用装置 |
| 申请日： | 2020-09-17 | 申请/专利权人 | 山东沐东真空科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省聊城市阳谷县博济桥办事处谷山路南段(建委对过) |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/26 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-06-01 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN213327807U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 34 | 所属领域： | 真空镀膜技术 能源回收与再利用 工业节能设备专利转让搜索 |
应用场景：半导体制造中的薄膜沉积工艺余热回收;光学元件表面处理时的热能循环利用;显示面板生产线的能耗优化系统;光伏产业材料制备过程中的废热管理
摘 要：本实用新型公开了一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，包括自吸泵、铜管、基座、导热管和出水管，所述基座上表面一侧通过两个支撑架固定连接有镀膜仓本体，所述镀膜仓本体下方的基座上表面固定连接有蒸发器本体，所述蒸发器本体顶端固定连接在镀膜仓本体下表面，所述蒸发器本体内部嵌入安装有坩埚，所述坩埚顶端嵌入安装在镀膜仓本体下表面，所述蒸发器本体两侧上方均开孔，所述导热管两端分别嵌入安装在蒸发器本体两侧上方的开孔内，所述导热管呈螺旋状分布在基座内部，所述基座内部的导热管缠绕在铜管外壁，所述基座另一侧通过底座与自吸泵底端固定连接。本实用新型解决了因热能不能回收利用而导致的资源浪费的问题。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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