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专利名称:
一种真空镀膜中样品翻转装置
申请号:
2021100314422
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
真空镀膜技术
相似专利
发布日:2025/07/09
摘要: 本发明公开一种真空镀膜中样品翻转装置,包括旋转轴、固定架、转盘、翻转栅条、被动齿轮、主动齿轮和固定转动部,所述旋转轴通过所述固定架与所述转盘固定连接,所述旋转轴的轴线穿过所述转盘中心,所述旋转轴带动所述转盘绕自身轴线旋转,所述翻转栅条设置在所述转盘上,且所述翻转栅条可绕自身轴线转动,一所述翻转栅条的一端固定设置有所述主动齿轮,其余所述翻转栅条的一端固定设置有所述固定齿轮,所述固定转动部可与所述主动齿轮传动连接,所述主动齿轮和相邻的所述固定齿轮啮合连接,相邻所述固定齿轮之间啮合连接;本发明的有益效果是样品在翻转时不需要额外的真空室空间,也不会对有效镀膜面积造成浪费。
专利名称:
一种线圈电磁挤压式磁过滤装置
申请号:
2021107445877
转让价格:面议
收藏
法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
真空镀膜技术
相似专利
发布日:2025/07/09
摘要: 本发明公开了一种线圈电磁挤压式磁过滤装置,属于真空镀膜技术领域,包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件;所述电弧阴极设置在所述安装法兰上,所述安装法兰与所述偏转室的一端连接,所述偏转室的另一端与所述真空室连通,所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。本发明采用磁挤压的方式,能完成从电源阴极至真空室的等离子体的偏转,完成大颗粒的过滤,使传统磁过滤等离子体非常集中的特点会有所改善,有利于大面积和均匀沉积;并且在完成膜层沉积时,工件转架具有很大的自由设计空间,不被磁控过滤弯管的位置所限制,值得被推广使用。
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