实用新型 已授权

一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置

📄 申请号:CN202022045469.0 📄 发布日:2026/09/15

著录项目信息

申请日
2020-09-17
公开号
CN213327806U
公开日
2021-06-01
申请人
山东沐东真空科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

镀膜设备维护保养, 真空镀膜生产线, 类金刚石薄膜制备, 表面处理工艺, 工业设备运维

摘要

本实用新型公开了一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置,包括箱体和箱盖,所述箱体的上表面固定连接有箱盖,所述箱体的一侧设置有抽气装置,所述箱体的内部设置有水循环装置,所述箱体的内底壁固定连接有第一蒸发板,所述第一蒸发板的上方设置有第二蒸发板,所述第二蒸发板之间设置有镀膜腔。该用于类金刚石镀膜设备的保养装置,通过立杆的设置,能够避免换热管与第二蒸发板直接接触,起到了保护和支撑的作用,通过水循环装置的设置,能够通过水泵将水箱内的冷水抽进箱体内,同时换热管将箱体内的水再排进水箱,达到水循环的目的,从而实现对箱体内部的降温散热,起到了保养的作用,避免箱体内部零件因温度过高而损坏。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN213327806U

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该专利的转让价格是多少?

当前标价为议价,可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20210601
✅ 授权
议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:13 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 已报项目

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