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| 专利/申请号： | CN202022045469.0 | 专利名称： | 一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置 |
| 申请日： | 2020-09-17 | 申请/专利权人 | 山东沐东真空科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省聊城市阳谷县博济桥办事处谷山路南段(建委对过) |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/24 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-06-01 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN213327806U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 33 | 所属领域： | 表面处理技术 真空镀膜设备维护 工业自动化装备专利转让搜索 |
应用场景：半导体制造中的DLC薄膜沉积系统定期养护;光学元件生产线的类金刚石涂层工艺间歇期设备清洁;精密模具加工用镀膜机的模块化组件更换与检修
摘 要：本实用新型公开了一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置，包括箱体和箱盖，所述箱体的上表面固定连接有箱盖，所述箱体的一侧设置有抽气装置，所述箱体的内部设置有水循环装置，所述箱体的内底壁固定连接有第一蒸发板，所述第一蒸发板的上方设置有第二蒸发板，所述第二蒸发板之间设置有镀膜腔。该用于类金刚石镀膜设备的保养装置，通过立杆的设置，能够避免换热管与第二蒸发板直接接触，起到了保护和支撑的作用，通过水循环装置的设置，能够通过水泵将水箱内的冷水抽进箱体内，同时换热管将箱体内的水再排进水箱，达到水循环的目的，从而实现对箱体内部的降温散热，起到了保养的作用，避免箱体内部零件因温度过高而损坏。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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