发明专利已授权

一种磁场辅助阴极电弧离子镀蒸发源

📄 申请号：CN202111433226.7 📄 发布日：2025/09/17

著录项目信息

申请日

2021-11-29

公开号

CN114086127B

公开日

2023-10-27

申请人

青岛科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_32

IPC 分类号

C23C14_32

技术画像

所属领域

离子镀离子镀真空镀膜蒸发源

应用场景

刀具涂层, 模具涂层, 耐磨涂层, 装饰镀膜, 表面防护

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摘要

本发明设计了一种磁场辅助阴极电弧离子镀蒸发源装置，包括包括极靴、永磁体、阴极靶、阳极、绝缘冷却底座、水冷入口管道、水冷出口管道、引弧针、引弧杆、电机马达、旋转轴、保护罩、屏蔽罩。主要通过极靴和永磁体的纵向旋转、整个装置的横向旋转以及阴极靶绝缘冷却底座的冷却降温作用来使得电弧在靶面均匀分布，加速弧斑移动速度，减少液滴或大颗粒的形成，细化弧斑，细化膜层组织，最终提高膜层质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：148 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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