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| 专利/申请号： | CN202111433226.7 | 专利名称： | 一种磁场辅助阴极电弧离子镀蒸发源 |
| 申请日： | 2021-11-29 | 申请/专利权人 | 青岛科技大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 山东省青岛市崂山区松岭路99号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/32 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-10-27 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN114086127B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 38 | 所属领域： | 表面处理技术 真空镀膜设备 材料科学与工程 先进制造工艺专利转让搜索 |
应用场景：高端装备制造中的耐磨涂层制备;航空航天器件的表面强化;精密模具的超硬薄膜沉积;新能源电池电极材料的高效涂覆;半导体器件的功能层沉积
摘 要：本发明设计了一种磁场辅助阴极电弧离子镀蒸发源装置，包括包括极靴、永磁体、阴极靶、阳极、绝缘冷却底座、水冷入口管道、水冷出口管道、引弧针、引弧杆、电机马达、旋转轴、保护罩、屏蔽罩。主要通过极靴和永磁体的纵向旋转、整个装置的横向旋转以及阴极靶绝缘冷却底座的冷却降温作用来使得电弧在靶面均匀分布，加速弧斑移动速度，减少液滴或大颗粒的形成，细化弧斑，细化膜层组织，最终提高膜层质量。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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