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| 专利/申请号： | CN202022042689.8 | 专利名称： | 一种真空蒸发镀膜装置 |
| 申请日： | 2020-09-17 | 申请/专利权人 | 山东沐东真空科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省聊城市阳谷县博济桥办事处谷山路南段(建委对过) |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/24 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-06-01 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN213327804U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 37 | 所属领域： | 真空镀膜技术 材料表面处理 半导体制造设备 光学薄膜沉积专利转让搜索 |
应用场景：集成电路金属互连层制备;光学镜片增透/反射膜成型;太阳能电池功能层沉积;柔性电子器件导电线路印刷
摘 要：本实用新型公开了一种真空蒸发镀膜装置，包括壳体和蒸发室，壳体的内底壁与蒸发室固定连接，蒸发室内部设置有加热设备，蒸发室的顶端开设有投射孔，壳体的内侧壁固定连接有固定板，固定板的一侧固定连接有齿条，齿条的表面啮合有齿轮，齿轮的内壁固定连接有电机，电机的两端转动连接有活动块，活动块远离固定板的一端固定连接有基板。本实用新型在镀膜完成后，冷气管通过电子阀向壳体内输入冷气进行降温，因外界的气压大于内部，通过单向阀防止外界的空气进入，当内部的气压大于外界时，内部的气体通过单向阀向外排气，同时温度检测仪检测排出气体的温度，当排出气体温度低于外界温度时，停止散热，达到提高散热效果的目的。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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