实用新型已授权

一种用于单晶硅片的脱胶机

📄 申请号：CN202222340782.6 📄 发布日：2026/01/13

著录项目信息

申请日

2022-09-02

公开号

CN218108653U

公开日

2022-12-23

申请人

扬州伟业创新科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B3_10

IPC 分类号

B08B3_10 , B08B13_00 , H01L21_67 , H01L21_687 , H01L21_673 ,

技术画像

所属领域

单晶硅片半导体制造设备硅片加工设备脱胶工艺单晶硅片

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 光伏电池制造, 硅片生产

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摘要

本实用新型公开了单晶硅片脱胶技术领域的一种用于单晶硅片的脱胶机，包括清洗箱，清洗箱右侧壁设有安装板，安装板顶部开设有安装槽，安装槽内设有移动机构，安装板顶部滑动连接设有安装架，安装架内顶部设有液压杆，液压杆底部设有安装杆，安装杆底部设有脱胶框，脱胶框内设有三组放置板，脱胶框内设有压紧机构，本实用在移动机构的作用下能够带动安装架前后移动，从而能够带动脱胶框在清洗箱内前后移动，解决了现有的单晶硅片大多都是静置水洗脱胶，脱胶效果差，清洗后的硅片表面存在脱胶不彻底的问题，提高单晶硅片的成品率，有利于单晶硅片的生产。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221223

✅ 授权

一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置

当前第 / 件

一种大尺寸硅片插片机分片装置

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