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专利详情
发明专利
已授权
一种UV解胶机
📄 申请号:CN202210183645.8
📄 发布日:2026/03/20
著录项目信息
申请日
2021-11-05
公开号
CN114464559A
公开日
2022-05-10
申请人
周庆斌
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L21_67
IPC 分类号
H01L21_67
,
H01L21_687
,
技术画像
所属领域
紫外光固化
紫外光固化
半导体封装设备
自动化控制
应用场景
半导体晶圆加工, 芯片封装, 电子元器件制造, LED制造, 光伏电池制造
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摘要
本发明公开了一种UV解胶机,涉及解胶机技术领域,包括外部壳体和设置在外部壳体底部四角处的支撑组件和滚轮组件,所述外部壳体包括位于左上侧的晶圆放置箱、位于右上侧的放置晶圆提篮的提篮主箱、位于右下侧的使晶圆提篮升降的晶圆次箱、位于左下侧的用于晶圆解胶的解胶箱,所述晶圆放置箱、提篮主箱、晶圆次箱和解胶箱顺序连通,所述晶圆放置箱内设置有用于放置晶圆的晶圆箱,所述提篮主箱内设置有晶圆提篮、安装架、设置在安装架上且能调整放置晶圆提篮距离的调整架、设置在安装架上且能沿安装架水平移动到晶圆箱内拾取晶圆的机械抓手组件;本发明设计合理,具有集成度高、解胶效果好,工作效率高的优点。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20250912
✅ 授权
20250718
⏳ 专利申请权的转移 :
20220527
?? 实质审查的生效 :
20220510
📄 公开
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📌 交易状态:
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