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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202120434466.8 | 专利名称: | 一种晶圆载盘放置架 |
申请日: | 2021-02-26 | 申请/专利权人 | 苏州新米特电子科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市工业园区胜浦九江路2号1号厂房二楼 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/673分类检索 半导体专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2021-10-19 | 转让价格: | 面议 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN214428608U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本申请涉及半导体生产的领域,尤其是一种晶圆载盘放置架,其包括底板,所述底板上设有吸盘,所述吸盘开口朝上且与晶圆载盘相抵触,所述底板上方固定有多个夹持组件,所述夹持组件包括夹片、扭簧和两个压片,所述夹片铰接于所述底板顶面,所述扭簧的一端伸长并与所述夹片的顶面相抵接,所述扭簧的另一端伸长且与所述底板的顶面相抵接,所述压片转动设置于所述底板顶面,多个所述夹片和多个所述压片位于同一圆周上。本申请具有加强晶圆切割时对晶圆载盘的固定的稳定性的效果。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |