发明专利 已授权

一种网状金银复合纳米薄膜的制备方法

📄 申请号:CN201810007275.6 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2018-01-04
公开号
CN108330454B
公开日
2020-01-03
申请人
江苏理工学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

光学器件, 传感器, 生物医疗检测, 导电薄膜, 催化材料

摘要

本发明公开一种网状金银复合纳米薄膜的制备方法,属于纳米材料制备领域。具体方法是先用物理气相沉积法在基底上制备一层金或银纳米薄膜,后用真空或惰性气体下进行退火,形成具有网状纳米结构的金或银材料;在此基础上旋涂一层光刻胶,并将透明基底一面进行曝光、烘焙、显影,去除具有网状纳米结构的金或银材料孔洞中的光刻胶涂层,保留下附着于其正上方的光刻胶涂层,并以此为基础进行二次物理气相沉积过程,制备一层第二种金或银纳米材料;完成后进行剥离,去除附着于具有网状纳米结构的金或银材料正上方的光刻胶涂层以及第二种金或银纳米材料,留下填充在孔洞中的第二种金或银纳米材料,形成具有表面等离激元效应的网状金银复合纳米薄膜。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图2
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