一种双层高熵合金复合薄膜及其制备方法和应用

摘     要：本发明属于高熵合金技术领域，具体涉及一种双层高熵合金复合薄膜及其制备方法和应用。所述复合薄膜的底层为铜层，表层为(CoCrFeMnNi)Xy，层间具有共格结构，X为非金属元素O或N，Co、Cr、Fe、Mn、Ni、X元素原子比为1:1:1:1:y，y＝0.1～0.8。本发明还提供了一种所述的双层高熵合金复合薄膜的制备方法，采用自动共溅技术在Si基体先沉积铜薄膜，然后连续在铜薄膜表面沉积(CoCrFeMnNi)Xy薄膜，形成纵向成分和力学性能变化的双层高熵合金复合薄膜。本发明双层高熵合金复合薄膜与基体结合良好，同时具有高电阻率和高韧性高硬度的特点，在柔性微机电系统电阻器上具有重要的应用价值。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

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