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摘 要:本发明涉及一种提高喷号机喷针表面耐磨性的方法,在真空腔体四周1~4个靶座上安装镀膜所需的铬、钛、铝、硅靶材;清洗喷针:依次经碱洗、工业清洗剂超声波清洗、酒精清洗;镀膜前真空清洗:将喷针固定在真空腔体内自转架上,预抽真空,开分子泵,抽真空,加热,保温,通氩气及氮气;开1~4根灯丝,偏压清洗,清洗靶;镀膜:调节基体直流偏压,控制氩气流量,氮气流量,真空腔体压强控制在0.3~2.0Pa之间;开1~4个靶电源,开始溅射,直到镀膜结束。本发明采用真空磁控溅射镀的方法在喷针表面制备的氮化物薄膜,显著提高了喷针表面的耐磨性,而且薄膜具有较好的结合力,不易脱落。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910942622.9 | 专利名称: | 一种提高喷号机喷针表面耐磨性的方法 |
申请日: | 2019-09-30 | 申请/专利权人 | 辽宁科技大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 辽宁省鞍山市高新区千山路185号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/35搜分类 机械制造搜索 |
公开/公告日: | 2021-03-26 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN110484890B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |