摘要
本发明涉及一种提高喷号机喷针表面耐磨性的方法,在真空腔体四周1~4个靶座上安装镀膜所需的铬、钛、铝、硅靶材;清洗喷针:依次经碱洗、工业清洗剂超声波清洗、酒精清洗;镀膜前真空清洗:将喷针固定在真空腔体内自转架上,预抽真空,开分子泵,抽真空,加热,保温,通氩气及氮气;开1~4根灯丝,偏压清洗,清洗靶;镀膜:调节基体直流偏压,控制氩气流量,氮气流量,真空腔体压强控制在0.3~2.0Pa之间;开1~4个靶电源,开始溅射,直到镀膜结束。本发明采用真空磁控溅射镀的方法在喷针表面制备的氮化物薄膜,显著提高了喷针表面的耐磨性,而且薄膜具有较好的结合力,不易脱落。