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| 专利/申请号： | CN201910487899.7 | 专利名称： | 一种PECVD工艺腔室支管路装置及其所在的气路系统 |
| 申请日： | 2019-06-05 | 申请/专利权人 | 承德石油高等专科学校 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 河北省承德市高新技术产业开发区学院路2号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C16/455 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2024-05-03 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN110158057B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 28 | 所属领域： | 化学化工专利转让搜索 |
摘 要：本发明提供了一种PECVD设备工艺腔室支管路装置及其所在的气路系统，包括容器本体10，所述容器本体10的上部设有密封盖12，所述密封盖12的上方开有进气口121，排气口122，所述容器本体10内盛放有液体11，所述进气口121连接进气管20，所述排气口122连接排气口121。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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