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专利详情
实用新型
已授权
一种真空镀膜机水冷装置
📄 申请号:CN202323628715.5
📄 发布日:2026/04/02
著录项目信息
申请日
2023-12-29
公开号
CN222434600U
公开日
2025-02-07
申请人
肇庆市龙泽真空设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
C23C14_22
IPC 分类号
C23C14_22
技术画像
所属领域
真空镀膜
真空镀膜
冷却系统
热管理
应用场景
真空镀膜, 表面处理, 光学镀膜, 半导体制造, 工业设备冷却
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摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜机水冷装置,包括真空镀膜机,所述真空镀膜机内设有镀膜腔体且真空镀膜机内转动安装有两个圆杆,两个圆杆上均固定套接有多个翻滚叶片且两个圆杆的顶端均固定套接有联动齿轮,所述真空镀膜机的顶部固定安装有安装板且真空镀膜机的前端处固定安装有固定板,固定板的顶部固定安装有电机,安装板靠近电机的一侧转动安装有蜗杆且安装板靠近电机的一侧开设有两个活动槽。本实用新型结构简单、使用方便,所述一种真空镀膜机水冷装置,通过往复的液冷搅拌散热,可快速将真空镀膜机的镀膜腔体的内部空间进行散热降温。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20250207
✅ 授权
一种真空镀膜机镀膜工件旋转架
当前第 / 件
一种布料裁切定位固定装置
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