实用新型已授权

一种晶圆切割进料装置(报过高企)

📄 申请号：CN202122681238.3 📄 发布日：2026/04/27

著录项目信息

申请日

2021-11-04

公开号

CN215988690U

公开日

2022-03-08

申请人

苏州微邦电子有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_677

IPC 分类号

H01L21_677 , H01L21_304 ,

技术画像

所属领域

进料装置半导体制造设备晶圆加工自动化送料机构进料装置

应用场景

半导体芯片制造, 晶圆切割, 晶圆传输与上料

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摘要

本实用新型涉及晶圆技术领域的一种晶圆切割进料装置，包括驱动电机，所述驱动电机的一侧安装有导轨，所述导轨的外表面套接有滑块，所述滑块的底端安装有气缸，所述气缸的底端设置有安装柱，所述安装柱的底端设置有吸盘，所述吸盘的顶端固定连接有吸盘连接套，所述安装柱的底端延伸至吸盘连接套的内部，所述吸盘连接套卡合套接在安装柱的外表面。通过设计的安装在安装柱两侧的按压块、固定板、卡块和复位弹簧便于对吸盘进行拆卸，在吸盘长时间使用后磨损严重或损坏时可快速的进行更换，大大了节省了维修人员的时间，通过按压按压块即可将吸盘连接套和安装柱发生分离，操作便捷，使用方便，且连接牢固。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220308

✅ 授权

一种用于车灯雕刻的激光三轴光纤镭雕设备

当前第 / 件

一种便于拆装的镭雕机用防尘装置

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_677)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

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