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摘 要:本发明涉及芯片智能加工领域,尤其涉及一种芯片裸片加工机械手,包括手板,手板边缘延伸两个指板,指板与手板平面支撑裸片;第一气路,所述手板、指板内部开设第一气路,第一气路连接外部气源;卷指组件,所述手板端部与指板端部设置三个卷指组件,裸片置于三个卷指组件之间,卷指组件包括柔性板,柔性板内部设置有涡卷条,涡卷条与柔性板一体收卷,用于挤压裸片的边缘,柔性板内部开设贯通第一气路的气槽,本发明通过对气槽充、放气,配合涡卷条的弹力,用于控制柔性板展开或收卷,转移裸片时,收卷的柔性板由裸片侧边挤压裸片移动,三组收卷的柔性板将裸片挤压至中心位置,实现对裸片居中定位,使裸片在各个工序之间摆放整齐。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202311575026.4 | 专利名称: | 一种芯片裸片加工机械手 |
申请日: | 2023-11-24 | 申请/专利权人 | 苏州市职业大学(苏州开放大学) |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省苏州市国际教育园致能大道106号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/677搜分类 集成电路搜索 |
公开/公告日: | 2024-10-25 | 转让价格: | 15000.0元 |
公开/公告号: | CN117612985B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |