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| 专利/申请号： | CN202110264833.9 | 专利名称： | 一种铁电存储器的单元结构及其制备方法 |
| 申请日： | 2021-03-11 | 申请/专利权人 | 铜仁学院 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 贵州省铜仁市碧江区川硐办事处教育园区启航路238号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/28 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2025-01-21 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN112864010B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 半导体器件制造 铁电材料应用 存储器设计专利转让搜索 |
应用场景：嵌入式系统数据存储;物联网设备非易失性内存;工业控制实时参数保存;智能穿戴设备配置信息留存;汽车电子黑匣子事件记录
摘 要：本发明提供了一种铁电存储器的单元结构及其制备方法，所述铁电存储器的单元结构包括衬底、两个n+区、源极、漏极、第一氧化层、第二氧化层、第三氧化层、铁电薄膜和栅极；衬底之上沉积有第一氧化层，在第一氧化层上刻蚀有第一矩形窗口以及第二矩形窗口，在第一矩形窗口以及第二矩形窗口处形成有两个n+区、源极和漏极，在第一氧化层、源极和漏极之上沉积有第二氧化层，在第二氧化层中设置有第三矩形窗口，铁电薄膜沉积在第三矩形窗口内，在第二氧化层以及铁电薄膜之上沉积有第三氧化层，在第三氧化层之上沉积有栅极。本发明的铁电存储器的单元结构有助于提高铁电场效应晶体管存储器的保持性能，以期实现铁电场效应晶体管存储器的实用化。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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