发明专利已授权

一种铁电存储器的单元结构及其制备方法

📄 申请号：CN202110264833.9 📄 发布日：2025/09/11

著录项目信息

申请日

2021-03-11

公开号

CN112864010B

公开日

2025-01-21

申请人

铜仁学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_28

IPC 分类号

H01L21_28 , H01L21_67 , H10B51_30 ,

技术画像

所属领域

铁电存储器铁电存储器半导体存储器件集成电路制造工艺

应用场景

非易失性存储, 嵌入式存储, 物联网设备, 智能卡与安全芯片, 消费电子

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明提供了一种铁电存储器的单元结构及其制备方法，所述铁电存储器的单元结构包括衬底、两个n+区、源极、漏极、第一氧化层、第二氧化层、第三氧化层、铁电薄膜和栅极；衬底之上沉积有第一氧化层，在第一氧化层上刻蚀有第一矩形窗口以及第二矩形窗口，在第一矩形窗口以及第二矩形窗口处形成有两个n+区、源极和漏极，在第一氧化层、源极和漏极之上沉积有第二氧化层，在第二氧化层中设置有第三矩形窗口，铁电薄膜沉积在第三矩形窗口内，在第二氧化层以及铁电薄膜之上沉积有第三氧化层，在第三氧化层之上沉积有栅极。本发明的铁电存储器的单元结构有助于提高铁电场效应晶体管存储器的保持性能，以期实现铁电场效应晶体管存储器的实用化。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种金属铸造模具的水冷结构

当前第 / 件

一种圆形钻杆端头自动焊接方法及装置

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_28)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

¥8632.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：149 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种铁电存储器的单元结构及其制备方法

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_28)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种基于全无机钙钛矿薄膜的柔性多态阻变存储器及其一步溶液法制备方法

一种Android系统内核错误信息获取方法及装置

非易失性网络节点数据存储方法

服务项目

资源中心

关于柿子坊