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摘 要:本实用新型的实施例提供了研磨头拉伸装置,涉及半导体设备技术领域,该研磨头拉伸装置,用于拉伸研磨头上的橡胶膜,研磨头拉伸装置包括气压产生器、分接气盘和抵持组件,气压产生器与分接气盘连接,用于向分接气盘供气,抵持组件与分接气盘连接,并用于与研磨头保持相对固定,分接气盘用于在气压产生器的作用下以预设压力施加在橡胶膜上。通过气压产生器向分接气盘供气,在抵持组件的限位作用下,分接气盘抵持在研磨头的表面,分接气盘用于在气压产生器的作用下以预设压力施加在橡胶膜上,从而实现对研磨头上的橡胶膜的拉伸作用。相较于现有技术,本实用新型避免了研磨头上机台进行拉伸,避免了机台时间的浪费,提升了整体效率。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202022619721.4 | 专利名称: | 研磨头拉伸装置 |
申请日: | 2020-11-12 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B37/34搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2021-08-27 | 转让价格: | 1800.0元 |
公开/公告号: | CN214054861U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |