实用新型已授权

一种密封罩系统

📄 申请号：CN202021090244.0 📄 发布日：2026/04/02

著录项目信息

申请日

2020-06-11

公开号

CN212206514U

公开日

2020-12-22

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01M3_28

IPC 分类号

G01M3_28

技术画像

所属领域

密封结构密封结构密封系统防护结构

应用场景

工业设备防护, 机械设备密封, 电机防护, 汽车零部件密封, 精密仪器防尘

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摘要

本申请提供一种密封罩系统，包括依次相连的半封闭腔体、密封管和抽气结构，所述半封闭腔体采用硬质板材形成，形状固定，不易变形；而且，通过将半封闭腔体与含氟化物设备之间接合，形成密封腔体，从而能够将含氟化物设备中可能出现漏气的部位罩设住，若出现氟化物泄漏，则可以通过抽气结构将密封腔体内的气体抽离，通过抽气结构末端的气体处理装置对气体进行处理，再排放到大气中，避免了含氟化物设备出现漏气，造成生产环境含氟化物浓度较高，对半导体器件，如芯片进行腐蚀，导致的芯片生产良率较低的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

研磨头拉伸装置

当前第 / 件

机台气体置换设备

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¥1800.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：49 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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王**¥-10万

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