一种芯片夹具、芯片清洗装置及芯片刻蚀装置

摘     要：本发明公开了一种芯片夹具、芯片清洗装置及芯片刻蚀装置，涉及芯片制造技术领域。芯片夹具包括支撑平台以及设置在支撑平台上的多个卡盘，多个卡盘围合形成了芯片的固定空间，芯片的边缘同时与多个卡盘的侧壁接触以固定在固定空间内，芯片与支撑平台之间存在间隙。芯片被多个卡盘的侧壁共同卡紧在固定空间内并与下方的支撑平台间存在一定的距离。卡盘的侧壁仅与芯片的边缘接触，同时，芯片的背面与支撑平台之间具有间隙，使得芯片的背面被完全暴露，不与其他物体接触。上述芯片夹具在进行芯片背面清洗或微刻蚀时，有效避免了芯片背面因被覆盖而产生水痕或刻蚀厚度不均匀的现象，提高了芯片的良品率。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注