芯片夹具类专利转让_商标转让

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专利名称：一种芯片夹具、芯片清洗装置及芯片刻蚀装置申请号：2021101393296 转让价格：面议收藏
法律状态：已下证类型：发明关键词：电子设备和元器件芯片夹具相似专利发布日：2024/10/30
摘要：本发明公开了一种芯片夹具、芯片清洗装置及芯片刻蚀装置，涉及芯片制造技术领域。芯片夹具包括支撑平台以及设置在支撑平台上的多个卡盘，多个卡盘围合形成了芯片的固定空间，芯片的边缘同时与多个卡盘的侧壁接触以固定在固定空间内，芯片与支撑平台之间存在间隙。芯片被多个卡盘的侧壁共同卡紧在固定空间内并与下方的支撑平台间存在一定的距离。卡盘的侧壁仅与芯片的边缘接触，同时，芯片的背面与支撑平台之间具有间隙，使得芯片的背面被完全暴露，不与其他物体接触。上述芯片夹具在进行芯片背面清洗或微刻蚀时，有效避免了芯片背面因被覆盖而产生水痕或刻蚀厚度不均匀的现象，提高了芯片的良品率。

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