咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本申请涉及一种高效率检测晶圆的中测台,其包括探针台本体,探针台本体上开设有放置槽,放置槽内连接有同轴光装置,同轴光装置包括载具板和同轴光源,载具板上对应于同轴光源的位置开设有透光孔,放置槽内可拆卸连接有第一遮光罩,第一遮光罩的外侧壁与放置槽的内侧壁相互贴合,第一遮光罩的顶盖上固定连接有散热风扇,散热风扇的出风口正对同轴光装置,第一遮光罩的顶盖上开设有呈竖向设置的第一通风孔。本申请具有减缓温度上升的速度,从而提高效率的效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202120276820.9 | 专利名称: | 一种高效率检测晶圆的中测台 |
申请日: | 2021-01-29 | 申请/专利权人 | 无锡新微阳科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2021-08-06 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN213905320U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |