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| 专利/申请号： | CN202120276820.9 | 专利名称： | 一种高效率检测晶圆的中测台 |
| 申请日： | 2021-01-29 | 申请/专利权人 | 无锡新微阳科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/67 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-08-06 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN213905320U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 15 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本申请涉及一种高效率检测晶圆的中测台，其包括探针台本体，探针台本体上开设有放置槽，放置槽内连接有同轴光装置，同轴光装置包括载具板和同轴光源，载具板上对应于同轴光源的位置开设有透光孔，放置槽内可拆卸连接有第一遮光罩，第一遮光罩的外侧壁与放置槽的内侧壁相互贴合，第一遮光罩的顶盖上固定连接有散热风扇，散热风扇的出风口正对同轴光装置，第一遮光罩的顶盖上开设有呈竖向设置的第一通风孔。本申请具有减缓温度上升的速度，从而提高效率的效果。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2021/08/06 | 授权 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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