一种高熵合金与金属玻璃的多层复合薄膜及制备方法

摘     要：本发明涉及一种高熵合金与金属玻璃的多层复合薄膜及其制备方法，利用磁控溅射方法在基体表面分层沉积制得高熵合金与金属玻璃的多层复合薄膜，复合薄膜厚度为1200nm～7μm，硬度为16GPa，弹性模量在180GPa以上，疲劳周次在4.35×105以上，将金属玻璃薄膜与高熵合金复合，可以大幅度提高疲劳性能。本发明的复合薄膜可应用于生物纳米机器人的微机电系统(MEMS)、人体可移植芯片和医疗器材表面等。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2021/05/18	授权
  2019/09/10	实质审查的生效	IPC(主分类): C23C 14/35 专利申请号: 201910429866.7 申请日: 2019.05.22
  2019/08/16	公开