发明专利已授权

一种高熵合金与金属玻璃的多层复合薄膜及制备方法

Name: 一种高熵合金与金属玻璃的多层复合薄膜及制备方法
Brand: 江苏理工学院
SKU: 2019104298667
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910429866.7 📄 发布日：2026/06/30

著录项目信息

申请日

2019-05-22

公开号

CN110129751A

公开日

2019-08-16

申请人

江苏理工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_14 , C23C14_02 , C22C30_00 ,

技术画像

所属领域

高熵合金高熵合金金属玻璃多层复合薄膜

应用场景

表面防护涂层, 耐腐蚀涂层, 耐磨涂层, 功能薄膜, 精密器件

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摘要

本发明涉及一种高熵合金与金属玻璃的多层复合薄膜及其制备方法，利用磁控溅射方法在基体表面分层沉积制得高熵合金与金属玻璃的多层复合薄膜，复合薄膜厚度为1200nm～7μm，硬度为16GPa，弹性模量在180GPa以上，疲劳周次在4.35×105以上，将金属玻璃薄膜与高熵合金复合，可以大幅度提高疲劳性能。本发明的复合薄膜可应用于生物纳米机器人的微机电系统(MEMS)、人体可移植芯片和医疗器材表面等。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210518

✅ 授权

20190910

?? 实质审查的生效：

20190816

📄 公开

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