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24小时咨询热线摘 要：本发明涉及晶圆流片加工生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置，其可以降低安全隐患，提高硅晶柱切割过程中的稳定性，提高切割精度，提高切割效果，降低使用局限性；并且传动皮带在长时间使用过程中，可对松弛的传动皮带进行张紧调节，提高传动效果，提高使用可靠性；包括操作板、四组支腿、后侧板、切割电机、传动皮带、金刚石切割片、左限位板、右限位板、左滑板、右滑板、顶板、调节丝杠、带动电机、两组左上导轮、两组左下导轮、两组右上导轮、两组右下导轮、两组锁紧螺栓、上固定板、下固定板、左固定板、右固定板、螺纹管、螺纹杆、调节板和张紧轮，后侧板的中部的左侧和右侧均纵向设置有燕尾滑槽。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN201811060248.1 | 专利名称： | 一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置 |
| 申请日： | 2018-09-12 | 申请/专利权人 | 江苏英锐半导体有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/02搜分类 半导体制造 芯片生产 单晶硅圆片 晶片加工 晶圆流片加工 硅晶柱切割 电子元件加工搜索 |
| 公开/公告日： | 2018-11-30 | 转让价格： | 面议 |
| 公开/公告号： | CN108922848A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2024/08/20 | 专利实施许可合同备案的生效 | IPC(主分类): H01L 21/02 合同备案号: X2024980011067 专利申请号: 201811060248.1 申请日: 2018.09.12 让与人: 盐城国睿信科技有限公司 受让人: 盐城驭风新能源技术有限公司 发明名称: 一种用于晶圆刻蚀设备的切割装置 申请公布日: 2018.11.30 授权公告日: 2024.04.02 许可种类: 普通许可 备案日期: 2024.08.01 |
| 2024/03/19 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2024.03.04 申请人由江苏英锐半导体有限公司变更为盐城国睿信科技有限公司 国家或地区由中国变更为中国 地址由224002 江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房变更为224000 江苏省盐城市高新技术产业开发区中小企业园3-A-4（D） |
| 2024/04/02 | 授权 | |
| 2018/12/25 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 21/02 专利申请号: 201811060248.1 申请日: 2018.09.12 |
| 2018/11/30 | 公开 |
