实用新型已授权

一种具有防回流管的半导体阀门

📄 申请号：CN202221712517.X 📄 发布日：2026/04/20

著录项目信息

申请日

2022-07-05

公开号

CN217463336U

公开日

2022-09-20

申请人

江苏阀邦半导体材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16K15_02

IPC 分类号

F16K15_02

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备阀门流体控制

应用场景

半导体制造, 集成电路生产, 电子特气输送, 化学品输送系统

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摘要

本实用新型提供一种具有防回流管的半导体阀门，包括半导体阀门本体、防回流管道、第一阻流柱、第一阻流孔、活动板、滑动块以及滑动槽，半导体阀门本体下端面连接有防回流管道，半导体阀门本体内部设置有第一密封垫，第一密封垫与半导体阀门本体之间固定有复位弹簧，第一密封垫右端面固定有第一阻流块，半导体阀门本体内部中间位置固定有第一阻流柱，第一阻流柱内部开设有第一阻流孔，防回流管道内部固定有第二阻流柱，第二阻流柱内部开设有滑动槽，滑动槽内设置有滑动块，滑动块之间焊接有活动板，活动板下端面固定有活动杆，活动杆下端面固定有第二密封垫，该设计能够在半导体阀门本体关闭后，阻止液体产生回流影响阀门的使用寿命。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种半导体阀门铸造用的浇铸生产装置

当前第 / 件

一种方便检修的半导体阀门过滤器

同领域国内专利 · IPC: (F16K15_02)

F16K15_00 F16K15_02 F16K15_03 F16K15_04 F16K15_06 F16K15_10 F16K15_18 F16K15_20 覆盖8个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：118 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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