实用新型已授权

一种边缘光刻胶去除装置

Name: 一种边缘光刻胶去除装置
Brand: 丹东锐芯微电子有限公司
SKU: 2024202656832
Availability: InStock

📄 申请号：CN202420265683.2 📄 发布日：2026/03/18

著录项目信息

申请日

2024-02-04

公开号

CN221946337U

公开日

2024-11-01

申请人

丹东锐芯微电子有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_42

IPC 分类号

G03F7_42

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备光刻工艺晶圆加工

应用场景

半导体芯片制造, 晶圆加工, 集成电路制造, 光刻工序

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摘要

本实用新型适用于光刻胶去除技术领域，提供了一种边缘光刻胶去除装置，包括：旋转组件；所述旋转组件由减速电机和转动盘组成；所述减速电机的输出端和转动盘的顶部中央位置处固定连接；焊接于所述转动盘底部中央位置处的防滑罩；及通过螺栓固定于所述转动盘底部靠近防滑罩外侧位置处的光刻胶射频组件和吸料组件，所述光刻胶射频组件位于吸料组件的一侧；通过射频灰化晶圆边缘上的光刻胶，可以快速的去除光刻胶，效率高，并通过防滑罩对晶圆核心区域的防护和吸料组件将光刻胶灰化过程中产生的废料吸走排出，可以实现晶圆边缘光刻胶去除、防护和清理一体化，大大提高晶圆加工的效率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN221946337U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

用于电梯的随行电缆支架

当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：139 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

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