实用新型 已授权

一种集成电路无尘车间机台脚式横梁载重基座

📄 申请号:CN201921299436.X 📄 发布日:2026/06/12

著录项目信息

申请日
2019-08-12
公开号
CN210462321U
公开日
2020-05-05
申请人
江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 集成电路生产, 无尘车间, 晶圆厂设备安装

摘要

本实用新型涉及载重基座技术领域,具体为一种集成电路无尘车间机台脚式横梁载重基座,包括横梁,横梁为网格框架形状,横梁的下端设置有若干均匀分布的支撑脚,支撑脚包括控制座、支撑装置和底板,控制座的上端和横梁连接,控制座的下端设置有方形板状的底板,控制座和底板之间设置有若干均匀分布的支撑装置,支撑装置包括卡位柱、承重块和控制装置,本实用新型构造设计实现支撑脚的高度快速调节,且操作简单,使用工具旋转转盘,即可实现相邻的两个支撑装置快速固定连接,同时若干支撑装置连接后具有强大的稳定性,确保整个基座的安全稳定性。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN210462321U

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
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