实用新型已授权

一种用于半导体及光电子无尘室的刚性基座

📄 申请号：CN201921308472.8 📄 发布日：2026/06/12

著录项目信息

申请日

2019-08-13

公开号

CN210319097U

公开日

2020-04-14

申请人

江苏瑞鑫集成电路设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16M5_00

IPC 分类号

F16M5_00

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备光电子设备洁净室设备

应用场景

半导体制造, 光电子器件制造, 无尘车间, 精密设备安装

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摘要

本实用新型涉及防震基座技术领域，具体为一种用于半导体及光电子无尘室的刚性基座，包括基座本体和安装平台，基座本体位于安装平台的上方，基座本体的底端和安装平台贴合，且基座本体的底部四角均开设有容纳腔，安装平台的顶端设有凸起，有益效果为：其中基座本体的内部设置有加强框，基座本体的外侧设置有保护罩，二者均可增强装置整体的抗压能力和牢固强度，而凸起、加强层以及抗压层等结构，以及其截面呈梯形状的设计，均可以起到很好的支撑效果，相比传统结构，本实用的支撑能力和稳定性以及抗压能力均具有显著优势，同时，基座本体和安装平台的两部分结构设计，也可以进行拆分，便于更换年久失修的部件。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种用于半导体及光电子无尘室的钢板型防震基座

当前第 / 件

一种集成电路无尘车间可调式铝合金地板支撑脚座

同领域国内专利 · IPC: (F16M5_00)

F16M5_00 覆盖1个领域

议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：83 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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