| 2025/04/21 |
202010438971X |
一种光刻机投影物镜镜头的装调装置
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领域：光学仪器
分类：
G03F7/20
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| 2024/10/30 |
2020232840348 |
掩模板条码扫描装置和光刻机
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领域：光学仪器
分类：
G06K7/10
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| 2025/03/03 |
2022109245013 |
一种晶片光刻机的干燥装置
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领域：半导体光刻机 硅晶片光刻系统 半导体设备 硅晶片
分类：
G03F7/20
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| 2025/03/03 |
2022108597072 |
一种光刻机的晶片输送装置
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领域：半导体光刻机 硅晶片光刻系统 半导体设备 硅晶片
分类：
G03F7/20
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| 2024/11/01 |
2022108081139 |
一种用于光刻机的晶片吸盘结构
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领域：半导体光刻机 硅晶片光刻系统 半导体设备 硅晶片
分类：
G03F7/20
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| 2024/07/02 |
202121958708X |
一种激光全息光刻机用控制机箱
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领域：激光 光刻
分类：
G03F7/20
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| 2024/07/02 |
2021219363318 |
一种带有抗震功能的激光全息光刻机
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领域：激光 光刻
分类：
G03F7/20
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| 2025/01/02 |
2018110396037 |
一种光刻机小工件卡具
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领域：半导体芯片 集成电路
分类：
G03F7/20
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| 2023/03/30 |
2021102385028 |
一种DMD光刻机中灰度图像数据存储方法
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领域：音视频 云计算 大数据 数据服务 图像数据 光刻
分类：
G03F7/20
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| 2022/12/02 |
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一种光刻机
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领域： 光刻
分类：
G03F7/20
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| 2022/10/17 |
2021200848529 |
一种自动对准移动掩模光刻机
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领域： 光刻
分类：
G03F7/20
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| 2021/06/09 |
2020216738539 |
一种用于光刻机的探测板组胶合夹具
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领域：治具夹具 探测 胶 港口 光刻
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| 2025/01/02 |
2019109987492 |
一种光刻机用晶圆片涂胶系统
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领域：半导体光刻机 半导体光刻系统 半导体设备
分类：
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| 2025/02/12 |
2018107549554 |
一种芯片生产用光刻机
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领域：集成电路
分类：
G03F7/20
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