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| 专利/申请号： | CN202210808113.9 | 专利名称： | 一种用于光刻机的晶片吸盘结构 |
| 申请日： | 2022-07-06 | 申请/专利权人 | 江苏晶杰光电科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省徐州市邳州市经济开发区环城北路北侧非晶产业园三期16号厂房 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G03F7/20 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-10-10 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN115097700B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 198 | 所属领域： | 半导体光刻机 硅晶片光刻系统 半导体设备 硅晶片专利转让搜索 |
摘 要：本发明涉及光刻机技术领域，具体是涉及一种用于光刻机的晶片吸盘结构，包括机架、支撑盘、驱动机构和若干个夹持组件，支撑盘的顶部设置有若干个吸附孔，支撑盘的底部设置有第一通孔，机架上设置有若干个第一滑槽，驱动机构位于机架的底部，驱动机构包括驱动腔、推板、活动架和电磁阀，本申请通过电磁阀的设置切换支撑盘和驱动腔，使得气密性更好，从而使得支撑盘对晶片的固定更加稳定，同时通过先连通驱动腔后连通支撑盘的方式，使得支撑盘在对晶片固定的过程中，夹持组件可一直保持夹紧状态，使得晶片在吸附固定的过程中不会产生偏移，从而进一步提高固定晶片的稳定性，通过同一驱动源既可以对晶片进行位置调整还可对晶片固定，减少成本的投入。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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