一种用于光刻机的晶片吸盘结构

摘     要：本发明涉及光刻机技术领域，具体是涉及一种用于光刻机的晶片吸盘结构，包括机架、支撑盘、驱动机构和若干个夹持组件，支撑盘的顶部设置有若干个吸附孔，支撑盘的底部设置有第一通孔，机架上设置有若干个第一滑槽，驱动机构位于机架的底部，驱动机构包括驱动腔、推板、活动架和电磁阀，本申请通过电磁阀的设置切换支撑盘和驱动腔，使得气密性更好，从而使得支撑盘对晶片的固定更加稳定，同时通过先连通驱动腔后连通支撑盘的方式，使得支撑盘在对晶片固定的过程中，夹持组件可一直保持夹紧状态，使得晶片在吸附固定的过程中不会产生偏移，从而进一步提高固定晶片的稳定性，通过同一驱动源既可以对晶片进行位置调整还可对晶片固定，减少成本的投入。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注