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摘 要:本实用新型涉及光刻机技术领域,且公开了一种自动对准移动掩模光刻机,包括基台、硅片台、支撑柱、掩膜版滑台、成像光刻透镜、滑轨、移动承载台、紧固把手、紫光透镜、紫光光源和掩膜版,所述基台的上表面活动安装有硅片台,所述基台上表面的两侧均连接有支撑柱,所述支撑柱的上端安装有掩膜版滑台,所述掩膜版滑台的中部位置开设有成像孔,所述掩膜版滑台的两侧开设有滑轨。该自动对准移动掩模光刻机,通过在掩膜版滑台上设置有活动安装的移动承载台,整体通过简单便捷的安装操作,使多个掩膜版均可稳定可靠的固定在掩膜版凹槽内,使掩膜版自动对准到方便进行光刻操作的位置,提升了光刻机的工作效率,减轻了工作人员的工作负担。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202120084852.9 | 专利名称: | 一种自动对准移动掩模光刻机 |
申请日: | 2021-01-13 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/20搜分类 光刻搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |