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| 专利/申请号： | CN202120084852.9 | 专利名称： | 一种自动对准移动掩模光刻机 |
| 申请日： | 2021-01-13 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | G03F7/20分类检索 光刻专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本实用新型涉及光刻机技术领域，且公开了一种自动对准移动掩模光刻机，包括基台、硅片台、支撑柱、掩膜版滑台、成像光刻透镜、滑轨、移动承载台、紧固把手、紫光透镜、紫光光源和掩膜版，所述基台的上表面活动安装有硅片台，所述基台上表面的两侧均连接有支撑柱，所述支撑柱的上端安装有掩膜版滑台，所述掩膜版滑台的中部位置开设有成像孔，所述掩膜版滑台的两侧开设有滑轨。该自动对准移动掩模光刻机，通过在掩膜版滑台上设置有活动安装的移动承载台，整体通过简单便捷的安装操作，使多个掩膜版均可稳定可靠的固定在掩膜版凹槽内，使掩膜版自动对准到方便进行光刻操作的位置，提升了光刻机的工作效率，减轻了工作人员的工作负担。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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