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| 专利/申请号： | CN201811039603.7 | 专利名称： | 一种光刻机小工件卡具 |
| 申请日： | 2018-09-06 | 申请/专利权人 | 重庆科技学院 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 重庆市沙坪坝区大学城东路20号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G03F7/20 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-06-06 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN109062013B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 43 | 所属领域： | 半导体芯片 集成电路专利转让搜索 |
摘 要：本发明提供了一种光刻机小工件卡具，由升降旋转功能装置、光点定位功能装置、固定功能装置三部分组成。其特征在于：卡具的整体结构，从下往上分别是最底下的底座台，外空心柱和内部的内空心柱，最上面是透明材质的工件台。本发明技术有益效果在于对小型工件起固定、支撑、定位作用，使加工时的精确度更高；同时，还能够对工件进行加工的高度和位置进行调节，降低了加工难度；再有，能够对加工的位置进行精确定位，避免了二次加工因放置位置不准确而造成的加工误差，简化了加工操作步骤。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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