一种晶片光刻机的干燥装置

摘     要：本发明涉及一种晶片光刻机的干燥装置,包括：光刻机，光刻机上设有过滤筒，过滤筒内安装有对空气进行过滤的过滤组件，过滤筒的底部开设有圆孔，光刻机上固定安装有延伸至圆孔内的蓄水组件，通过蓄水组件对过滤组件产生的水进行储存，且过滤筒的一端开设有呈圆周分布的圆孔，过滤筒的另一端固定安装有抽气筒。本发明设计新颖，设置的空气进入过滤筒内，通过安装的吸附海绵对潮湿的空气进行第一步过滤，吸附海绵将空气中的大量水份吸取走，再通过安装的活性炭层对空气进行第二次过滤，出气管将热空气吹入烘干管内，进入烘干管内的热空气对光刻机进行烘干，通过过滤筒内的过滤组件大大降低了空气中的湿度，使得干燥装置的干燥效果得到了提升。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注