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| 专利/申请号： | CN202210924501.3 | 专利名称： | 一种晶片光刻机的干燥装置 |
| 申请日： | 2022-08-02 | 申请/专利权人 | 江苏晶杰光电科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省徐州市邳州市经济开发区环城北路北侧非晶产业园三期16号厂房 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G03F7/20 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-08-15 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN115236948B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 239 | 所属领域： | 半导体光刻机 硅晶片光刻系统 半导体设备 硅晶片专利转让搜索 |
摘 要：本发明涉及一种晶片光刻机的干燥装置,包括：光刻机，光刻机上设有过滤筒，过滤筒内安装有对空气进行过滤的过滤组件，过滤筒的底部开设有圆孔，光刻机上固定安装有延伸至圆孔内的蓄水组件，通过蓄水组件对过滤组件产生的水进行储存，且过滤筒的一端开设有呈圆周分布的圆孔，过滤筒的另一端固定安装有抽气筒。本发明设计新颖，设置的空气进入过滤筒内，通过安装的吸附海绵对潮湿的空气进行第一步过滤，吸附海绵将空气中的大量水份吸取走，再通过安装的活性炭层对空气进行第二次过滤，出气管将热空气吹入烘干管内，进入烘干管内的热空气对光刻机进行烘干，通过过滤筒内的过滤组件大大降低了空气中的湿度，使得干燥装置的干燥效果得到了提升。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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