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摘 要:本实用新型提供一种掩模板条码扫描装置和光刻机,涉及光刻机技术领域,掩模板条码扫描装置包括承载台、支架、驱动组件、读码机和保护管道,承载台具有用于承载掩模板的承载面,支架固定设置在承载台的一侧,驱动组件设置在支架上,并延伸至承载台上方,读码机与驱动组件连接,并与承载面相对设置,用于在驱动组件的带动下相对承载面运动,保护管道设置在承载台的一侧,用于向读码机和承载面之间输送保护气体,以防止灰尘落在掩模板上。相较于现有技术,本实用新型能够实现移动扫码,对掩模板的条形码位置精度要求低,避免出现无法读码的情况,同时能够防止灰尘掉落在掩模板上。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202023284034.8 | 专利名称: | 掩模板条码扫描装置和光刻机 |
申请日: | 2020-12-30 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G06K7/10搜分类 光学仪器搜索 |
公开/公告日: | 2021-09-07 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN214151708U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |