咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本实用新型公开了一种激光全息光刻机用控制机箱,包括主体、电动滑板和灰尘传感器,所述主体的顶部开设有滑槽,所述滑槽的内壁安装有电动滑板,所述主体的内壁安装有灰尘传感器,所述电动滑板的顶部安装有固定杆,所述电动滑板的顶部的开设有气孔,所述主体的内壁安装有第一气泵,所述电动滑板的底部安装有第一气管。本实用新型通过安装有气孔和第一气泵使得基片放置平整,基片放置在电动滑板上,固定杆对其固定,使其平行于电动滑板,第一气泵将电动滑板内壁的空气抽走,基片与电动滑板底顶部接触形成的空间内的空气通过气孔流入到电动滑板内壁也被抽走,使得基片紧紧贴在电动滑板的顶部不存在间隙,从而可以保证基片放置时的平整。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202121958708.X | 专利名称: | 一种激光全息光刻机用控制机箱 |
申请日: | 2021-08-19 | 申请/专利权人 | 苏州百聪科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市高新区塘西路31号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/20搜分类 激光 光刻搜索 |
公开/公告日: | 2022-03-11 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN216013934U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |