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| 专利/申请号： | CN202210859707.2 | 专利名称： | 一种光刻机的晶片输送装置 |
| 申请日： | 2022-07-20 | 申请/专利权人 | 江苏晶杰光电科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省徐州市邳州市经济开发区环城北路北侧非晶产业园三期16号厂房 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G03F7/20 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-10-27 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN115167079B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 78 | 所属领域： | 半导体光刻机 硅晶片光刻系统 半导体设备 硅晶片专利转让搜索 |
摘 要：本发明提供一种光刻机的晶片输送装置，属于半导体材料技术领域，该光刻机的晶片输送装置包括晶片外箱和送料装置，送料装置位于晶片外箱的一侧，晶片外箱的一侧端固定连接有放料斜板，送料装置上设置有送料盘，且送料盘与放料斜板相对应；本发明中，工作人员只需将多个晶片放入多个晶片分隔条上，驱动组件通过升降组件控制升降内箱升降，升降内箱每次向上移动的距离相同，使最上层的晶片被推料组件和滚动组件控制移动，从而使晶片进入送料盘内通过送料装置输送，根据光刻机对晶片的光刻时间，升降内箱每次只将一个晶片送出，送出的时间相同，不需要人为干涉，从而避免晶片在输送的过程中发生堆积影响光刻机的取用。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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