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摘 要:本发明提供一种光刻机的晶片输送装置,属于半导体材料技术领域,该光刻机的晶片输送装置包括晶片外箱和送料装置,送料装置位于晶片外箱的一侧,晶片外箱的一侧端固定连接有放料斜板,送料装置上设置有送料盘,且送料盘与放料斜板相对应;本发明中,工作人员只需将多个晶片放入多个晶片分隔条上,驱动组件通过升降组件控制升降内箱升降,升降内箱每次向上移动的距离相同,使最上层的晶片被推料组件和滚动组件控制移动,从而使晶片进入送料盘内通过送料装置输送,根据光刻机对晶片的光刻时间,升降内箱每次只将一个晶片送出,送出的时间相同,不需要人为干涉,从而避免晶片在输送的过程中发生堆积影响光刻机的取用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202210859707.2 | 专利名称: | 一种光刻机的晶片输送装置 |
申请日: | 2022-07-20 | 申请/专利权人 | 江苏晶杰光电科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省徐州市邳州市经济开发区环城北路北侧非晶产业园三期16号厂房 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/20搜分类 半导体光刻机 硅晶片光刻系统 半导体设备 硅晶片搜索 |
公开/公告日: | 2023-10-27 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN115167079B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |