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摘 要:本发明公开了一种光刻机用晶圆片涂胶系统,其结构包括电机、支架、主转轴、调节杆、吸盘、水平调节装置、支撑圆盘,支架下方设有电机,电机与主转轴底部相连接,主转轴顶部贯穿支架并通过调节杆与吸盘相连接,支撑圆盘设在支架上方并与之相平行,支撑圆盘与主转轴垂直焊接在一起,吸盘底部设有水平调节装置,本发明的有益效果是:通过移动杆能够使液位传感器和内磁铁位于吸盘直径的两端,便于找到最低处,且通过磁吸作用能够移动伸缩杆位于最低处正下方,由于伸缩杆能够根据最低处进行移动,便于调节吸盘任意角度发生的倾斜,使用性更强,能够直接通过最低点与最高点确定一条直线直接进行调节,调节更加方便。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910998749.2 | 专利名称: | 一种光刻机用晶圆片涂胶系统 |
申请日: | 2019-10-21 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B05C13/02搜分类 半导体光刻机 半导体光刻系统 半导体设备搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2021/04/27 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2021.04.15 专利权人由莆田市城厢区诺林贸易有限公司变更为江苏嘉洛精仪智能科技有限公司 地址由351100 福建省莆田市城厢区霞林街道荔园西路328号230室变更为221700 江苏省徐州市丰县经济开发区智能终端产业园二期B1 |
2020/11/24 | 授权 | |
2020/11/20 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2020.11.10 申请人由覃冬梅变更为莆田市城厢区诺林贸易有限公司 地址由518060 广东省深圳市深圳大学袖海楼401变更为351100 福建省莆田市城厢区霞林街道荔园西路328号230室 |
2020/02/11 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): B05C 13/02 专利申请号: 201910998749.2 申请日: 2019.10.21 |
2020/01/10 | 公开 |