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摘 要:本发明公开了一种光刻机投影物镜镜头的装调装置,包括底座,所述底座的上端一侧开设有圆形槽,所述圆形槽内底部转动连接有固定轴,所述底座的上端设置有矩形板,所述矩形板同轴固定连接在固定轴上端,所述矩形板侧壁内开设有装置腔,所述装置腔内底部与内顶部之间对称转动连接有一对螺纹杆,一对所述螺纹杆上均螺纹连接有丝杠螺母。本发明通过设置第一控制机构、第一驱动机构、螺纹杆和传动机构等,既可以方便地实现物镜镜头的高度调节和横向转动调节,使物镜镜头更容易对准目标物,方便了光刻机的工作过程,还可以取代传统螺栓式的装配过程,更为方便快捷地完成物镜镜头的装配工作,具有较强的实际意义。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010438971.X | 专利名称: | 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 |
申请日: | 2020-05-21 | 申请/专利权人 | 江苏海洋大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省连云港市新浦区苍梧路59号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/20搜分类 光学仪器搜索 |
公开/公告日: | 2020-09-08 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN111638630A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |