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| 专利/申请号： | CN202010438971.X | 专利名称： | 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 |
| 申请日： | 2020-05-21 | 申请/专利权人 | 江苏海洋大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省连云港市新浦区苍梧路59号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G03F7/20 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2020-09-08 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN111638630A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 95 | 所属领域： | 光学仪器专利转让搜索 |
摘 要：本发明公开了一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，包括底座，所述底座的上端一侧开设有圆形槽，所述圆形槽内底部转动连接有固定轴，所述底座的上端设置有矩形板，所述矩形板同轴固定连接在固定轴上端，所述矩形板侧壁内开设有装置腔，所述装置腔内底部与内顶部之间对称转动连接有一对螺纹杆，一对所述螺纹杆上均螺纹连接有丝杠螺母。本发明通过设置第一控制机构、第一驱动机构、螺纹杆和传动机构等，既可以方便地实现物镜镜头的高度调节和横向转动调节，使物镜镜头更容易对准目标物，方便了光刻机的工作过程，还可以取代传统螺栓式的装配过程，更为方便快捷地完成物镜镜头的装配工作，具有较强的实际意义。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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